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壹、VOCs 冷凝(吸收)回收系統 1. 日適合親水性高沸點揮發性有機物質(High Boiling Point VOCs)處理。 2. 利用空氣中水氣的冷凝,以雙膜理論做為吸收的技術基礎,創造全新的冷凝技術。 .(2002 年已經對既有客戶發表這項新創技術)。 3. 高沸點 VOCs 處理效率 90%以上。(已有壹佰套以上使用經驗,廢氣出口溫度 .≦20°C)。 |
貳、VOCs 冷凝(吸收)+ 煙霧處理裝置 |
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參、 VOCs 前置處理冷凝器 |
具備回收(處理)的高沸點 VOCs 經驗: 高沸點的溶劑(去光阻劑 / 光阻剝離劑,樹脂溶劑等),例如 ACT-690C,ACT-935,EKC-162,EKC-265,EKC-800,EKC-830,EKC-922,N-300,N-321,RNS-409 及 TOK-106 等,這些主要的 VOCs 成份有 BDG,DMAc,DMF,DMSO,MEA and NMP 等。 |